Интернаука - Интернаука №16 ((часть2) 2020

хранить постоянный такт выпуска контактных бло-

ным исследователем и инновационным специали-

ков и не требует промежуточного контроля в режи-

стом Константином Пилюгиным в его статьях [1, 2,

ме реального времени.

3].

Для классификации современного автоматиче-

ского робототехнического производственного сбо-

Рисунок 3. Вариант Гибкого технологического модуля фотолитографии на платах тонкоплёночных

микросборок. Модуль включает два параллельных технологических потока, причём необходимо

отметить полную автономность каждого из потоков, включая независимость друг от друга для

управляющих комплексных компьютерных систем. Кроме этих систем модуль также включает

компьютерную систему управления и контроля робота – оператора, функционально связанную с

управляющими комплексными компьютерными системами

Указанный модуль включает несколько тесно

Система полностью автоматизирована и управ-

связанных функционально технических систем,

ляется и контролируется программируемыми про-

каждая из которых может быть квалифицирована

цессорами, связанными с источником питания для

как надсистема.

гальванического процесса, с гибким регулировани-

Совокупность этих систем включает – модули

ем плотности тока в зависимости от площади и

загрузки – разгрузки, локальные блоки загрузки –

толщины покрытия.

разгрузки, треки, центрифуги, блоки дозирования и

Система имеет два рабочих потока, из которых

подачи в зону обработки на стол центрифуги хими-

на рисунке показан один; Система управляется, ре-

ческих реагентов и фоторезистора, системы кон-

гулируется, настраивается и контролируется при

троля и т.п.

помощи нескольких программируемых контролле-

Трек включает несколько центрифуг, - рабочая

ров, информация, программы и команды, в которые

позиция для подготовки поверхностей под покры-

вводятся посредством сенсорного экрана.

тие, рабочая позиция для гальванического нанесе-

ния покрытия, рабочая позиция для финишной об-

работки платы после нанесения покрытия.

16

Журнал «Интернаука»

№ 16 (145), часть 2, 2020 г.

Рисунок 4. Рабочий трек установки для гальванических покрытий на платах тонкоплёночных

микросборок. Рабочий трек включает автономное устройство загрузки – разгрузки плат, установленное

на входе в процесс и на выходе из процесса

Что важно отметить, каждая локальная техниче-

всей иерархии, определяющей состав и функцио-

ская система, даже в статусе подсистемы низкого

нальные характеристики возглавляющей иерархию

уровня, благодаря высокому уровню унификации и

надсистемы.

стандартизации, обладает высоким потенциалом

интегративной адаптации в технических системах

Рисунок 5. Автоматическая, состоящая из двух технологических потоков, имеющая гибкий и

независимый вариант управления и контроля, установка для нанесения гальванических покрытий на

платы тонкоплёночных микросборок в условиях полупроводникового производства; Эта установка имеет

возможности для встраивания в поточные гибкие технологические модули, которые в свою очередь

могут интегрироваться в системы более высокого уровня

17

Журнал «Интернаука»

№ 16 (145), часть 2, 2020 г.

Ввиду того. что в конкретных производствен-

сетах, которые устанавливаются в начале и в конце

ных ситуациях, как правило разработки прототипов

технологического потока.

такого оборудования выполняются на уровне изоб-

Таким образом участия оператора в процессе не

ретения, правильные определения и системная ква-

требуется. так как все загрузочные и разгрузочные

лификация и классификация всех новых техниче-

операции выполняются при помощи робота – опера-

ских решений и их сочетаний в технических систе-

тора, а контроль всех операций и порядок прохож-

мах всех уровней иерархии крайне важны.

дения управляющих команд осуществляются про-

Как видно из рисунка, заготовки плат тонкоплё-

граммируемым процессором, контакт с которым

ночных микросборок, изготовленные из специаль-

осуществляется через сенсорную панель управле-

ной керамики (размер 48х60 мм), содержатся в кас-

ния.

Рисунок 6. Гибкий автоматический технологический модуль со стороны вводных устройств, на которые

робот загрузки – разгрузки устанавливает кассету с заготовками для плат тонкоплёночных микросборок

Манипулятор робота захватывает кассету из

поиска кассеты, идентификации и захвата кассеты,

ячейки накопителя, переносит её в положение сов-

переноса кассеты, ориентации положения кассеты в

мещённое с столом вводного устройства, после чего

трёх измерениях, ориентации кассеты по вертикали,

опускает кассету до контакта с столом и фиксирует

идентификации кассеты на столе вводного устрой-

её положение.

ства загрузки – разгрузки и финальной фиксации

Показанное сочетание локальных технических

кассеты на столе с последующей передачей функ-

систем, квалифицируется как сочетание подсистем,

ций конвейерному треку.

связанных в локальную, но тем не менее – надси-

Все указанные операции являются одновремен-

стему, за счёт определённого гибкого алгоритма

но и техническим заданием на разработку соответ-

всего комплексного и последовательного процесса –

ствующего программного обеспечения.

18

Журнал «Интернаука»

№ 16 (145), часть 2, 2020 г.

Рисунок 7. Технические решения, входящие и формирующие транспортные технические системы всех

уровней гибкого автоматического технологического модуля, начиная с транспортировки заготовок плат

тонкоплёночных микросборок от модуля загрузки – разгрузки к рабочим позициям и кончая комплексной

транспортной технической системой робота - манипулятора, способной быть адаптированной с

установками другого технологического направления и с компьютеризованными системами управления и

диспетчерской регулировки

Как правило такого рода системы имеют доста-

воляют квалифицировать как изобретения именно

точно разнообразные варианты базовых техниче-

комплексные варианты технических решений в раз-

ских решений, сочетания которых с техническими

личных сочетаниях и конфигурациях.